三种形状柔性铰链转动刚度的计算与分析

本文针对3种形状的柔性铰链进行力学分析,推导出它们各自绕z轴的转动刚度计算公式;通过计算、比较和分析得出柔性铰链中外形、几何尺寸等设计参数对转动刚度的影响程度。根据分析结果确定3种形状柔性铰链各自的微制造工艺及适用场合,为MEMS中柔性铰链的设计与应用提供一定的依据

柔性铰链; 转动刚度; 弓形; 倒圆角直梁形; 椭圆形;

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.12.038

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